巴斯夫在浙江嘉兴的电子级硫酸装置正式投入运营最高品质硫酸用于半导体制造工艺
2018-09-01Grace
上海化工 2018年6期
关键词:解决方案
2018年5月30日,巴斯夫宣布,其位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸(H2SO4)装置(年产 12 000 t)正式投入运营,将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。在客户强劲需求的推动下,该装置尚未竣工即同时启动扩建项目,扩容后产能将翻番。扩建项目预计将于2018年年底投产。
巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿博士表示:“嘉兴的新电子级硫酸装置是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。中国已成为全球最大电子材料市场之一,而且还在不断成长。我们将更贴近客户,为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案,提供更可靠、更稳定的高品质产品。”
该套新装置位于上海西南的浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦,工厂配备了最先进的技术,将生产最高品质的H2SO4。因为在制造小于10 nm单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,新装置所生产的H2SO4将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。

巴斯夫嘉兴电子级硫酸装置正式投入运营

巴斯夫嘉兴新建电子级硫酸工厂
巴斯夫嘉兴装置所生产的H2SO4在性能水平上已经超越了当今速度最快、性能最优的半导体标准要求,其质量与稳定性在业内首屈一指。嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术,成功搭建出生产工艺的复杂架构,并实施质量管理专有体系。……
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