周江峰,蔡东海,文东辉,尹林志

(浙江工业大学 机械工程学院，浙江 杭州 310014)

0 引 言

研抛加工是超精密加工技术其中一种，主要包括了研磨和抛光两部分。其中，研磨是指将研磨液加到研磨盘上，通过研磨盘(一般为铸铁)与工件的相对运动来进行加工的方法，抛光原理与研磨类似，但抛光加工中所用的抛光磨粒粒径比研磨中所用的小得多，而且研磨盘多采用软质材料。

Preston方程[1]指出，被加工工件表面材料去除率与压力参数p成正比，即工件表面所受压力越大，则工件材料去除率越高。因此，对研抛压力的研究对研抛加工具有重要的意义。

在研抛加工过程中，由于研抛压力是由研抛加载盘与工件的接触变形产生的，对研抛加载力的最佳控制方法就是通过确定研抛加载盘与工件的相对位置，以此来达到对力的控制。同时，研抛加工过程中，保持研抛压力恒定[2]可以进一步提高研抛质量，因此，对研抛装置的实时监测控制也是十分必要的。

目前的压力加载系统有砝码配重、机械式、气动式、电液式和其他加载系统。为了替换砝码配重加载方法，必须选择一种其他加载系统进行研究，如气动式和电液式。为了获得更好的控制精度，多采用昂贵的伺服阀，因此这里选用机械式加载方式。

本文对该系统设计中考虑的机械结构和控制监测软、硬件系统进行阐述。

1 研抛加工加载系统构成

平面研磨抛光系统由一个旋转的工件盘、承载抛光垫的研磨抛光盘和抛光液供给装置三大部分组成。……