摘 要：高精密二维平台在生產加工中得到了广泛的应用，在平台设计过程中关键零部件如：支撑形式、驱动方法、闭环检测控制手段等是保证高精度的基础，在设计过程中应根据需求好，合理选择，合理搭配。

关键词：直线电机；直线导轨与滑块；光栅尺

1随着科学技术的发展，人类在制造领域中采用的尺度将由微米迈向纳米，在这个进程中，高精密的运动平台是实现纳米级定位和加工的关键技术。当前，在一些工程领域，已经对纳米级微进给平台提出了要求，如半导体器件；光学器件；微型机械的制造及特种材料加工等。尤其是在微型机械和超精密加工领域，往往需要十分精确的定位和非常精细的运动，因此需要高性能的超精密定位平面工作台作为其技术支持。例如，随着集成电路集成度的提高，线宽已达到亚微米级，因此在制造过程中对定位精度有着苛刻的限制。在微型机械领域要求对微小的零部件进行装配，就必须为其提供精密的运动。同时， 微型机械制造超精密加工、生物工程、集成电路制造、医疗手术、扫描探测、光纤对接等领域都有广泛的应用。

2平台的搭建

2.1平台结构

平台结构形式，支撑形式，驱动连接方法以及构件的尺寸和材料决定平台的运动学和动力学特性，进而决定其所能达到的性能，是平台结构设计的核心内容。这里平台的具体细节为：采用了大理石或花岗岩平台作为零部件安装支撑体，固定龙门式X/Y运动分离的结构，永磁同步直线电动机+导轨支撑的驱动形式，高分辨率直线光栅尺，驱动器+PMAC运动控制器。……