王雷

[摘 要]彩膜工艺中曝光工序使用涂布机。涂布机主要采用真空干燥单元通过干泵抽真空干燥方式，将基板上光刻胶内的有机溶剂挥发抽干，达到有机物质在基板上形成固化状态。在对13条生产线使用的36台干泵在下游位置安装高效率冷凝器38台和自动排液系统13套以及相应管路，达到有机溶剂冷凝回收，以降低有机溶剂的消耗量，减少挥发性有机化合物的排放。

[关键词]节能；减排；再利用

中图分类号：G498 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2018）30-0094-02

1 绪论

根据《节能减排“十二五”规划》（国发〔2012〕40号）要求应加快淘汰落后产能，实施节能减排重点工程，改造提升传统产业。突出抓好工业、建筑、交通、公共机构等重点领域和重点用能单位节能，大幅提高能源利用效率。积极开展节能减排改造 ，实现减量化、再利用、资源化。深入实施节能减排科技专项行动，在产生挥发性有机化合物的生产环节，我们使用冷凝回收技术对彩膜分厂进有机溶剂回收、干泵节能利用改造，通过本项目的改造最终将实现有机溶剂等能源资源的高效利用。同时还能够有效地减少生产过程中挥发性有机化合物的排放量。以实现能源资的高效利 。

2 有机溶剂节能改造

彩膜分厂有13条曝光生产线，彩膜涂布机真空干燥单元通过干泵抽真空干燥方式，将基板上光刻胶内的有机溶剂挥发抽干。据统计，一张基板通过每道工序，消耗的有机溶剂（PGMEA）为66毫升，彩膜工艺共有6道工序，以120000片/月生产能力计算，全年消耗量有机溶剂约570.2立方米。……