杜 彬，李姗泽

（中国电子科技集团公司第二研究所，太原 030024）

1 引言

国内对于LTCC的应用已经有相当长的时间，但目前主要用于军用领域，例如TR组件和图像识别模块等，在民用领域仍然以厚膜混合集成电路为主[1]。国内LTCC技术在开发及产业化方面比发达国家晚，LTCC生产水平仍处于手工、半自动的阶段，因此产品质量、批量化生产的一致性与国外水平仍有一定差距[2]。LTCC智能生产线的出现能够缓解这一局面。

2 LTCC智能生产线

要方向之一[2]。LTCC智能生产线是指在现代传感技术、网络技术、自动化技术等先进技术的基础上，将LTCC生产工艺融入到生产线中，实现设计过程、制造过程智能化，是信息技术和智能技术的深度融合与集成[3]。LTCC生产线典型流程和架构见图1、图2。

图1 LTCC生产线典型流程

智能制造技术无疑是世界制造业未来发展的重

图2 LTCC智能生产线构架

3 智能生产线的关键技术

3.1 工艺关键技术

智能生产线中LTCC工艺技术是顶层总体设计的基础，是智能制造生产线设计首先要开展的。它决定了生产线中最重要也是投资最大的硬件，即加工设备的选型，也是智能制造生产线调度、运行控制的决策依据，是决定智能制造生产线的节拍、工艺流程、产品质量的关键技术。只有将LTCC基板智能制造工艺这块“地基”打好，才能使这条智能生产线更好更快更顺利地建设起来[2]。

该LTCC智能生产线是基于现已成熟的LTCC半自动化工艺技术（8英寸），研发出适用于该智能生产线的新工艺技术。主要需改进的工艺有以下几种。……