朱斌，仇国富

(南京理工大学 机械工程学院，江苏 南京 210014)

0 引言

磁悬浮轴承是一种利用电磁力使转轴悬浮的新型轴承，具有无接触、无磨损、无需润滑和密封、发热少等优点，因此，磁悬浮轴承可以用于需要长期运行的场合和高速旋转机械[1]。

磁悬浮轴承通过传感器实时测量转轴位移并据此调整电磁力，实现对转轴位置的精确控制。电涡流式传感器具有灵敏度高、线性好、体积小等特点，而且能够在恶劣环境下工作，故目前被广泛用于磁悬浮轴承位置控制系统中的位移检测[2]。

磁悬浮轴承是多自由度系统，因此需要多个位移传感器。在实际应用中，通常每一自由度采用1个电涡流位移传感器。电涡流传感器探头实际就是由铜导线绕制的线圈，在交变电的作用下可等效为一个电感。由于工作时环境温度的变化会使导线电阻发生变化，引起探头线圈参数的温漂，从而不可避免地产生位移测量的漂移误差。要消除或减少这种位移测量误差，需用具有高温度稳定性的导电材料来绕制探头线圈，而这在目前还难以实现。此外，工作环境存在的各种干扰，也会影响电涡流传感器探头参数和测量电路的稳定性。这些因素造成了转子位置测量的误差，对磁悬浮轴承转子位置的控制精度有严重影响[3-4]。

本文为解决此问题，在磁悬浮轴承的每一个自由度采用2个电涡流位移传感器，用差动测量的方法以减小温漂和其他干扰对位移测量精度的影响。……