刘春佳

（厦门钨业股份有限公司，福建 厦门 361000）

金属钨具有较高的熔点、化学性能稳定等优点，被广泛应用于蒸镀、高温炉加热元件等领域[1]。随着LED的大范围推广，对其生产设备的需求也越来越大。LED作为一种特殊的半导体器件，MOCVD（金属有机物化学气相沉积）是其关键的制造设备，其中的钨发热元件为化学气相沉积提供了较高且稳定的温度。在加热的过程中，大电流通过钨发热体，产生较多的热量，给衬底材料提供了反应温度，保证了化学气相沉积过程的顺利完成。发热体一般使用钨或者钨铼的材料，但是铼材料价格较高，所以一般的MOCVD设备都是采用纯钨材料作为发热体[2]。随着LED价格的不断降低，降低半导体器件的制造成本，提高产品质量是当前需要解决的重要问题。因此延长钨发热片的使用寿命是当前的产业化研究重点。本文通过丝网印刷技术，在原始钨发热片表面涂覆一定厚度的钨粉末涂层，通过高温烧结，制备得到了表面多孔、具有一定粗糙度的钨发热片，能显著提高原有钨片的辐射系数。

1 实验

1.1 实验原料

采用厦门金鹭特种合金有限公司生产的钨粉，费氏粒度为2μm，其主要杂质元素含量如表1所示。

表1 钨粉主要杂质元素含量（ppm）

实验采用成都联虹钼业有限公司生产的轧制态钨片，尺寸为30×30×1.5mm。钨片的物理性能如表2所示。

1.2 制备工艺与性能测试

钨片在丝网印刷前，需要酸洗以及喷砂，最后用超声波清洗机将表面的杂质去除，并进行烘干。……