崔 浩，李斌成，肖石磊，王 静，王亚非，高椿明

(电子科技大学光电信息学院 成都 610054)

近年来，高反射光学元件在激光陀螺[1]、引力波观测[2]、痕量气体检测[3-4]等领域应用越来越广泛。高反射光学元件的反射率直接关系到这些高精密激光系统的性能，如何准确测量高反射元件反射率越来越重要。文献[5]提出通过测量谐振腔相移的衰减相移方法来测量待测元件的反射率，该方法需要确保光源的方向强，相干长度短，这些要求导致在一般情况下测量精度难以保证。文献[6]提出时间衰减法，通过测量光在谐振腔中的衰减时间来确定其腔的损耗，从而得到待测光学元件的反射率。由于该测量方法具有不受光源波动的影响和待测光学元件的反射率越高、测量精度越高等优点，因此被广泛应用于高反射率测量[7-10]。2011年，光学干涉薄膜会议公布了由不同国家、不同机构，通过不同测量方法对同一批次的高反样品的反射率测量结果，发现仅采用时间衰减方法的测量精度高和一致性好，证明了时间衰减法是唯一能够精确测量反射率高于99.99%的方法[11]。目前已经出现许多不同类型的时间衰减技术，如采用脉冲光源[12]或窄谱连续光源[13]的光腔衰荡技术。本文采用半导体激光器作为光源的光反馈光腔衰荡技术[14-15]，利用自混合效应(半导体激光器部分出射光经谐振腔反射回半导体激光器，使激光器的输出光谱发生漂移到谐振腔的谐振频率处)，提高了激光与谐振腔的耦合效率，从而极大提高了反射率测量精度，而且无需隔离器和频率锁模简化了测量装置。……