李雪辰，吴凯玥，张 琦，楚婧娣，王 彪，贾鹏英

(河北大学物理科学与技术学院 河北省光电信息材料重点实验室，河北 保定 071002)

1 引 言

大气压放电产生的多种活性粒子在众多领域中具有广泛的应用前景。例如，在工业领域可用于材料的表面处理[1]、臭氧合成[2]及污染物处理[3]等，在生物医疗领域可用于杀菌消毒[4]等。因此，大气压气体放电产生的非平衡态低温等离子体受到了大量关注。

大气压非平衡等离子体最常用的产生方法是介质阻挡放电(DBD)。它的特点是有绝缘介质插入电极之间。对于不同的气体种类、电压幅值和驱动频率，DBD从放电形貌上可分为随机丝、斑图和均匀放电3种形式[5]。相比较而言，大气压均匀DBD对工业应用(特别是材料处理等应用)尤为重要。关于均匀DBD的研究，早在1988年，Okazaki等就在大气压氦气中得到了均匀放电[6]。进一步的研究发现，均匀放电从放电机制上划分可分为两种：大气压辉光放电(APGD)和大气压汤森放电(APTD)[7]。在APTD中，电场是均匀分布的；而在APGD中，电场会在阴极附近达到最大值，形成阴极位降区。Massines等最先证实了氦气中均匀DBD的机制属于APGD[8]。除了氦气，在其他工作气体如氮气、混合丙酮的氩气中也产生了均匀DBD[9]。Trunec等最先获得了氖气中的均匀DBD，并研究了电压幅值、频率和气流对氖气DBD的影响[10]。研究表明，氖气中的均匀DBD和氦气中类似，仍属于APGD机制[11]。Brandenburg等也证实了氦气和氖气中的均匀放电属于APGD机制，并将该均匀放电的成因归功于低电场下存在的较高离化率[12]。……