林洁琼，高 瑞，靖 贤，谷 岩

（长春工业大学 机电工程学院，吉林 长春 130012）

1 引言

目前，针对三维微纳结构的制造工艺方法，国内外学术界现有的研究中，普遍认为双光子聚合（Two-photon polymerization，以下简称TPP）加工方法是最有效、最有发展前途的工艺方法[1]。三维超材料能否在重要领域的应用获得成功，关键在于如何保证双光子聚合加工系统的精度，从而获得高质量的微纳结构。

在研究微结构加工的误差影响过程中，文献[2]提出了一种新的方法，自适应数学表达模型（SMEM），描述了基于非均匀有理B样条（NURBS）机床误差。用体对角线多步运动测得位移误差。文献[3]针对旋转轴的几何误差模型提出了“误差第一模型”和“运动第一模式”，对回转轴的几何误差进行了辨识分析。为系统、快速方便地测量五轴数控机床2个旋转轴所有的几何误差项，文献[4]提出一种基于球杆仪测量的六圈法几何误差辨识方法。文献[5]提出机床几何误差参数辨识的7线法，基于此系统实现误差数据的采集和机床几何误差参数的快速辨识。文献[6]针对国内外对于非正交数控机床的斜摆轴B轴误差辨识研究较少问题，基于多体系统理论建立非正交五轴数控机床运动误差模型。此外，文献[7]研究了一种根据被加工零件的三轴机床运动误差辨识新方法。文献[8]基于平面正交光栅方法，提出了多步测量方法。文献[9]利用三面对角线矢量测量的方法，并测量了三个运动轴的定位误差，从而实现了机床误差参数的辨识。……