摘 要：本文概述了薄膜无源器件在射频（微波）中应用的当前状况；介绍了薄膜电容元件和薄膜电感元件的现实应用，应用于无线电接收器；叙述其应用的主要优势，能减少元件的使用数量，减小元件尺寸，具有装配简化、稳定运行和可靠性高的优势；总结了当前薄膜无源器件的发展不足及未来发展方向。

关键词：射频/微波电路；薄膜电容元件；薄膜电感元件

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.24.101

1 前言

多层烧制技术在相同或不同批次成品的某些参数发生细微变化[1]，对设计工作者来说准确的参数极为重要，比如R值，它只能在一定容差内进行变化，不然可能会给设计师带来一些不必要的差错，所以设计人员开发了一种高频微波元件。此外，半导体薄膜技术生产应用于薄膜无源元件，元件的厚度和宽度可低于10nm和1um[1]。

标准的尺寸规范使得容差参数更加严格，元件的整体性能也得到大幅度提高。通过电极沉积的高真空技术和气相沉积的化学技术，使得无论相同还是不同批次的ESR值都相当标准。它的可靠性跟预测性都能适用于较宽的频率区间。

薄膜无源器件的上述优点，很大程度可以减小器件尺寸，还能减少器件的使用数，节约大量的安装花费。

2 薄膜无源器件

陷波滤波器是其应用的示范。该器件通过截获一定谱段的信号而允许其它谱段信号无阻的通过，常应用于天线功率的放大器。由于器件的单片设计使它只有1个谐振点响应[1]。多段无线接收装置有时产生一些谐波与差频，我们的滤波器能用于其衰减。……