厉余超++李正荣

[摘 要]TFT-LCD产业近年来取得了极大发展，液晶显示面板因其重量轻、体积小、耗电低等优点，已广泛应用于各种信息、通讯和消费性电子产品中。同时液晶显示面板行业的竞争日趋激烈，各厂家都通过采用新技术，以降低产品成本，提高各自产品的竞争力，抢占市场。国内液晶行业取得了不错成绩，结合实际生产不断创新，不断缩小与日韩液晶企业的差距，其中多种型号的液晶面板出货量已跃居全球第一。

[关键词]TFT-LCD；表面缺陷；检测方法

中图分类号：TN91 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2017）47-0350-01

液晶显示面板总括来说主要由TFT和CF两基板组成，其中ODF工艺是在TFT面板上滴注液晶和在CF基板涂覆Seal胶，通过真空贴合形成Cell。LCD产品的显示主要是通过TFT电路来控制Cell内液晶的偏转，利用其对光线的各向异性选择光线通过，经过CF彩色滤光作用从而形成我们所看到的彩色画面。

1 TFT-LCD 表面缺陷

由于TFT-LCD生产工艺复杂，涉及到300多个工，每个环节都有可能产生缺陷。且主要为各种各样的表面缺陷，使面板生产效率受到了严重影响。TFT-LCD表面缺陷粗略地分为两大类：宏观缺陷和微观缺陷。其中宏观缺陷用肉眼能够识别，如Mura缺陷等；而微观缺陷难以用肉眼或电化学方法检测出来。从聚集状态来看，TFT-LCD面板常见的缺陷又可以分为点缺陷、线缺陷和Mura缺陷。点缺陷，一般是单个薄膜晶体管在生产制造过程中失效引起的；线缺陷，一般是有源器件与驱动IC连接不良造成的；导致产生Mura缺陷的原因很多，如背光源均匀性、TFT漏电均匀性以及液晶配向性等。……