张阁++张巍

[摘 要]近年来，有源矩阵液晶显示器的发展，有了质的飞跃，它已经历了从中小尺寸的便携式电视机到大尺寸的便携式个人电脑监视器和大屏幕彩色液晶投影电视机的发展过程，目前有源矩阵液晶显示器正向更大尺寸的台式计算机监视器和高分辨率、高亮度、大屏幕彩色液晶投影电视机等方向迅速发展。这就需要相应的缺陷检测技术、检测技术和修补技术成的无缺陷化技术是大面积、高分辨率、彩色化有源矩阵液晶显示器研制和生产中的关键技术。

[关键词]液晶显示；缺陷

中图分类号：TN873 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2017）47-0348-01

1、液晶显示器的缺陷分析

液晶显示器的缺陷主要包括来自图像显示质量方面的软性缺陷和来自TFT阵列的硬性缺陷。在来自TFT阵列的缺陷中，若按其成因可分为短路缺陷和断路缺陷；若按其显示效果则可分为点缺陷和线缺陷。目前成品的一般定义为不能有线缺陷，允许有2～3个点缺陷。液晶显示器的缺陷是多种多样的，其产生的原因也各不相同，其中TFT阵列的缺陷主要来自镀膜工艺和光刻工艺。在上述缺陷中，有些通过提高净室级别和工艺的自动化程度以及严格的工艺监控、管理是可以避免的，有些则可通过工艺方法的改进和工艺参数的优化预以避免，但对大量的TFT阵列的短/断路缺陷则需利用冗余技术和修补来消除。不管采用何种方法解决上述缺陷，首先必须要能够检测出这些缺陷，这就需要相应的缺陷检测设备和检测手段。……