申晓天++舒童

[摘 要]在航空发动机燃烧室、高压压气机、内燃机、压缩机等高温气流的动态压力测试中，传感器的工作环境极其恶劣。要保证传感器在高温燃气的强对流及热冲击、热辐射的作用下正常工作，又不致因高温使传感器燃蚀是相当困难的。目前国内外用于测量高温气流压力的传感器几乎都采取强制冷却措施，使传感器冷却到正常温度以下。

[关键词]微纳光纤；高温压力；传感器

中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2017）40-0168-01

1 传感 器的加工

飞秒激光体系主要用的是美国Spectral Phys-ics公司的产品。其间，飞秒激光器里振动级型号为Tsunami，脉宽为35fs～100ps，波长规模是720～850nm，输出功率为560mW。扩大级型号为Spit-fire Pro，脉宽为35fs或2ps，波长规模是780～820nm，输出功率大于4W。试验中将加工的样品固定在六维超精细移动渠道上，经过渠道的移动来改动样品的加工方位。其X、Y、Z轴的平动规模别离为±50mm、±50mm、±25mm，滚动规模别离为±15°、±15°、±30°。全部体系的软件操控界面选用VB言语程序编程设计来操控六维移动渠道的运动的速度、方位等。光纤FPI高温压力传感器选用低精细度光纤Fabry-Perot干与仪构造。压力传感器运用单模光纤和无芯光纤制造一个带压力膜的微腔。制造進程如下：首要对单模光纤和无芯光纤的端面做高精度的研磨处理；用飞秒激光微加工技能在研磨好的单模光纤和无芯光纤端面上别离加工出直径为d，深度为l的微孔，其间直径d为60～80μm，深度l为30～100μm。用光纤熔接机在手动熔接形式下，将已加工微孔的单模光纤和无芯光纤进行熔接，在光纤内部构成FP腔。……