邵 红，张 森，齐 钊，乔 明

（1．无锡华润上华科技有限公司，江苏无锡 214028；2．电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 610054）

一种用于ESD保护的SCR触发电路

邵 红1，张 森1，齐 钊2，乔 明2

（1．无锡华润上华科技有限公司，江苏无锡 214028；2．电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 610054）

介绍一种检测ESD电压并输出触发或关断信号的电路结构。通过对ESD脉冲的上升沿进行分辨，然后输出触发信号从而触发SCR钳位器件对内部电路进行保护，并在ESD脉冲结束时对脉冲下降沿进行检测，从而输出关断信号关断SCR钳位器件，防止闩锁效应的发生。仿真结果显示，该电路能较好地检测ESD脉冲的上升沿或下降沿而输出不同的信号，从而能降低SCR钳位器件的触发电压，并防止闩锁效应。

ESD防护；触发电路；触发电压；闩锁效应

1 引言

静电泄放ESD（Electrostatic Discharge）是自然界中一种普遍的现象。虽然静电存在于生活的每个角落，但静电泄放对集成电路来说却是致命的威胁。据统计，大概有四成以上的集成电路失效是由ESD失效引起的[1]。随着集成电路工艺的提高，芯片尺寸越来越小，在带来性能提高的同时其抗ESD能力也越来越弱。由此可见，ESD的防护随着工艺技术的进步而变得越来越重要。

在一些先进工艺中，由于芯片内部极易被ESD所损伤，若像传统GGNMOS器件一样依靠结的击穿来触发[2]，将很难实现有效的ESD保护。因此ESD器件的触发已经不能单纯依靠PN结的击穿来实现，必须设计辅助触发电路或结构来实现低电压触发。……