摘要：在当今信息技术时代当中，微电子技术成为了基础和核心。随着微电子技术从原本的二维加工逐步变成三维加工，微电子技术显著影响到信息技术乃至人们的生活。微机电系统也就是微电子机械系统，成为了电子和精密机械加工技术良好结合的事物，成为了多学科互融的全新范畴。在全球经济发展中，电子通信技术产业身为基础性产业具备了十分重要的位置，微机电系统体现出的高科技含量成为了电子信息技术产业的主要代表，微机电系统的发展能力则会体现出我国总体电子信息产业的发展能力。

关键词：电子信息；微机电；系统；技术

微机电系统身为全新的科学技术，通过长期发展乃至对当前高科技含量技术的运用，持续研发并打造出集成元件，显著提高了运用微机电系统领域的效率与功能，从而将微机电拥有的价值展现出来。微机电系统在持续发展和应用当中，显著改变了科技和人们的生活。尤其对于目前电子与制造业的长期创业发展当中，令微机电大多运用于诸多范畴内，而其所具备的低成本、高性能等特点也被人们所重视，以此令其被应用于电子信息领域中。

一、微机电系统的概述

（一）微机电系统的概念

在20世纪60年代，微型硅压力传感器通过加利福尼亚与贝尔实验室研发得出。20世纪70年代又将微型继电器乃至硅片色谱仪等设备研发出来。在20世纪70、80年代，科学工作者通过微机械技术，打造出更多具备微小尺寸的机械零部件。……