(中国民用航空飞行学院洛阳分院，河南 洛阳 471001)

非晶态TiO2薄膜用于HMP45D温湿传感器的Pt100电阻保护层

张占文

(中国民用航空飞行学院洛阳分院，河南洛阳471001)

用Pt100薄膜电阻代替金属铂电阻可提高HMP45D温度传感器的精度和响应速度，但面临稳定性下降的问题。我们采用溶胶-凝胶方法在Pt100薄膜电阻表面生成TiO2保护膜，研究表明，非晶态TiO2保护膜具有良好的光催化活性，镀了TiO2保护膜的Pt100电阻可获得逼近Callendar-Van Dusen方程的电阻-温度特性，其温度系数在使用180天后仍能保持原来的97.79%。因此，非晶态TiO2保护膜在提高Pt100薄膜电阻工作稳定性和使用耐久性方面具有很高的应用价值。

Pt100电阻； TiO2薄膜； 光催化； 溶胶-凝胶

1 前 言

温度是表示大气冷热程度的物理量，准确测量和控制温度对生物医学、农业生产、家用电器、气象预报、航空运输等领域起着重要作用。HMP45D是民航自动气象观测系统中测量温度的传感器，温度是飞行安全的气象条件中非常重要气象要素之一，对飞机的起降和载重影响很大。伴随气温的升高，空气密度变小，产生的升力变小，导致飞机载重减小，滑跑距离变长。气温降低，可能会产生雾、冰雹、大雪等危险性天气，严重影响着飞行安全，因此，必须精确测量机场的大气温度。HMP45D温湿传感器的测温元件是Pt100铂电阻，主要是通过其电阻值随温度的升高而增加这一特性进行测量的，阻值跟温度的变化成正比，遵循Callendar-Van Dusen方程。Pt100铂电阻分为线绕式铂电阻和薄膜铂电阻两类。薄膜铂电阻不仅具有与线绕式铂电阻一致的温度特性，还具有电阻温度系数高、体积小、热容量小、热响应快、耐振动和冲击、一致性好等优点[1]。……