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(江南大学生态纺织教育部重点实验室，江苏 无锡 214122)

Cu/Al2O3复合薄膜的制备及其抗氧化性能

盛澄成，徐阳，魏取福，乔辉

(江南大学生态纺织教育部重点实验室，江苏无锡214122)

本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al2O3复合薄膜，利用扫描电镜(SEM)、X射线能谱仪(EDX)和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试，并与相同工艺条件下制备的纯Cu薄膜进行了对比分析。结果表明：与纯Cu薄膜结构的不稳定性相比，由于复合薄膜表层Al2O3薄膜的结构稳定性和致密性，Cu/Al2O3复合薄膜在保证高屏蔽性能的前提下，具有整体结构的稳定性，表现出了良好的抗氧化性能。

磁控溅射； Cu/Al2O3复合薄膜； 屏蔽效能； 抗氧化性能

1 引 言

金属薄膜的氧化是多年来困扰学术界的难题，它不仅浪费资源而且严重影响我国经济的可持续发展。磁控溅射法制备的金属化电磁屏蔽纺织品置于室温环境中，也会出现不同程度的氧化问题，严重影响其性能和应用[1-2]，因此，近年来如何预防金属化电磁屏蔽纺织品不被空气氧化成为了热点。目前研究最多的抗氧化方法主要有两种[3-4]，一种是基体改性技术，另一种是涂层技术。基体改性指的是在基体中加入氧化抑制剂[5]，但是，基体改性后的试样由于其组分的改变，会严重影响屏蔽材料的屏蔽性能，导致其屏蔽效能下降。涂层法的基本原理是在材料表面制备一层抗氧化涂层，利用该涂层将空气和基体隔离，以阻挡氧气向基体中扩散，从而使材料具有一定的抗氧化性能。……