刘 波，李 平，丁立莉，刘 卿，范文隽，冯黎明

（1.西安航天计量测试研究所，西安 710100；2.西安航天化学动力厂，西安 710025）

新型复合真空计校准技术研究

刘 波1，李 平1，丁立莉1，刘 卿1，范文隽1，冯黎明2

（1.西安航天计量测试研究所，西安 710100；2.西安航天化学动力厂，西安 710025）

随着真空应用产业的发展，新型复合真空计由于其具有优越的技术性能，在真空测量领域发挥着越来越重要的作用，被各大厂矿、企事业单位广泛使用。该真空计采用模块化集成设计，实验室常规的校准方法无法进行校准，通过对反磁控皮拉尼复合真空计测量原理的分析，将可变量输出的对数模拟标准电压信号转化为真空度信号，进行示值误差分析，对照国家颁布的相关校准规范，给出校准结果。此技术为复合真空计的校准提供了实验基础和理论依据，解决了该类型真空计的校准难题。

反磁控复合真空计；真空标准装置；惠斯通电桥；示值相对误差

0 引言

随着真空应用产业的发展，真空测量技术已广泛应用于我国的航天、航空、电子、船舶、核、兵器等重要国防领域及关系民生的石油、化工、制冷、医药、光学等行业[1]。在目前倡导工业自动化的时代，大型的真空环模设备、真空镀膜设备、真空钎焊机、真空实验舱等实验设备已被相关厂矿、院所及各大高校广泛使用。常规的热传导式真空计及电离真空计由于测量范围有限、抗污染能力差、测量误差大、无法更换零部件等原因，已不能满足日益发展的真空技术需求。……