何加桥，朱 丽，卜雄洙，章维一，杨 眉

(南京理工大学微系统研究室，江苏南京210094)

一种多路压电驱动控制系统的研制及实验研究

何加桥，朱 丽，卜雄洙，章维一，杨 眉

(南京理工大学微系统研究室，江苏南京210094)

针对粉体微输送的基本要求，提出一种基于DDS技术的多路压电控制系统的设计方案，系统包括了波形存储模块、基准频率产生模块、基准电压设置模块以及D/A输出模块等。系统可以实现多路信号的独立控制和输出，电压范围为0～100 V，频率范围为0～256 Hz，最后以羟基磷灰石和钛粉为例，进行了多路粉体微输送实验，结果表明所设计的系统完全满足多种粉体微输送的要求，并且具有非常高的稳定性和可靠性。

压电作动器;任意波形发生器;DDS

粉体微输送可应用于激光熔覆、材料筛选等领域中[1-2],而目前粉体微输送研究的较多的是气力输送。粉体气力输送技术分为稀相输送和浓相输送，稀相输送时容易造成粉体散开，浓相输送则容易使粉体堵塞流道，影响粉体输送的稳定性。所以无论浓相还是稀相都存在粉体输送量分辨率不高，输送过程可控性不高的问题[3]。

南京理工大学提出以脉冲为微流动基本形态、以脉冲当地惯性力为主动力，对粉体进行微输送，分辨率达到飞升级。其实现的主要原理为：使用压电作动器产生脉冲惯性力，通过改变压电作动器两端的电压、频率以及波形等驱动参数来使得微管道内的粉体获得足够大的加速度，从而克服摩擦力或者粘性力完成粉体微输送的过程。……