王美飞，杨丽莉，胡恩宇，沈敏

(南京市环境监测中心站，江苏 南京 210013)

·监测技术·

王美飞，杨丽莉，胡恩宇，沈敏

(南京市环境监测中心站，江苏 南京 210013)

建立了一种直接进样-气相色谱质谱法同时分离和测定固定污染源排气中三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫等含氟温室气体的方法。使用CP-SillicaPLOT毛细管填充柱可使上述4种目标化合物实现基线分离。分别用全扫描模式和选择离子扫描模式进行定量分析，方法检出限分别为0.12，0.19，0.10 ，0.08 mg/m3和2.8，3.4，1.7，3.1 μg/m3。探讨了样品保存容器与保存时间对样品浓度衰减的影响，指出Tedlar采样袋或铝塑复合膜采样袋可以较长时间保存样品，在常温下，样品可保存至少7 d。实际样品测定结果表明方法快速、简便，适用于固定污染源排气中含氟温室气体的测定。

含氟温室气体；气质联用法；固定污染源

三氟甲烷(CHF3)、四氟甲烷(CF4)和六氟乙烷(C2F6)作为氢氟烃(HFCs)与全氟化碳(PFCs)家族中的典型代表，是理想的等离子蚀刻气体，在微电子工业中具有广泛应用。六氟化硫(SF6)因其良好的电气绝缘及优异的灭弧性能而在电气工业领域被广泛利用。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。

然而，这类含氟气体却具有很强的温室效应，约为等量二氧化碳的2.3万倍。温室效应已成为世界关注的焦点[1]，有学者针对二氧化碳的浓度变化作过研究[2-3]，但国内对于上述含氟温室气体的研究甚少。

测定固定污染源中含氟温室气体的排放浓度可为温室气体减排核算提供技术支撑，因此，建立快捷、高效测定固定污染源排气中含氟温室气体的方法具有实际意义。……