李 瑶, 杨甬英, 王 晨, 陈元恺, 陈晓钰

(浙江大学 光电科学与工程学院 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027)

点衍射干涉检测技术

李 瑶, 杨甬英*, 王 晨, 陈元恺, 陈晓钰

(浙江大学 光电科学与工程学院 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027)

本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前，能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点，点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非共路干涉两种结构，主要应用于高精度波前检测和面形检测。共路干涉结构简单紧凑，对环境振动不敏感，对光源相干度要求不高，可利用光束偏振态及光栅衍射分束的特性对传统点衍射板进行改造，在全共路点衍射干涉仪中引入时间相位调制技术和干涉对比度可调技术，可进一步提高波前检测精度。采用反射式针孔和各种光纤结构发展了非共路点衍射干涉仪，实现了大口径、高精度球面反射镜面形的测量。本文重点阐述了用于极紫外光刻投影物镜中高精度球面反射镜面形检测的反射式针孔点衍射干涉仪，并展望了点衍射检测技术在生物检测等领域的应用前景和发展趋势。

点衍射；光纤点衍射；针孔点衍射；波前测量；生物检测

1 引 言

干涉检测技术是光学检测领域中用于光学系统波像差检测和镜片面形检测的最常用的检测方法。传统的……