邹科曼，吴亚光

(中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050000)

工程与应用

两种硼硅酸微晶玻璃制备方法的对比研究

邹科曼，吴亚光

(中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050000)

采用偏硼酸盐和硼酸-氧化物为原料，分别通过一步法和两步法制备B2O3-SiO2系微晶玻璃陶瓷材料，并对不同原料和方法制备的陶瓷材料进行XRD、SEM分析及力学、热学性能对比测试。结果表明以偏硼酸盐为原料使用一步法制备硼硅酸盐微晶玻璃陶瓷成瓷性能较两步法制备微晶玻璃陶瓷性能差，两步法制备微波玻璃陶瓷材料玻璃相相对较多，性能较好。

偏硼酸盐；两步法烧结、成瓷性能、玻璃陶瓷；

0 引 言

随着电子和通信技术的不断发展，终端设备也更多地要求低能耗、高性能和多功能化，这不可避免的导致电路尺寸的增加。为了遏制这一趋势，实现设备的小型化，人们尝试了很多办法，目前最成功的办法就是改变将各种高频材料和无源器件的位置，从基板表面移入基板内部。根据这种思路的低温共烧陶瓷(Low Temperature co-fired Ceramic,LTCC)是目前常见的整合组件技术[1]。

但是这种做法带了了一个问题：将各种各种高频材料和无源器件植入内部，它们的散热条件会变差，也就是说发热带来的热失效将成为尺寸缩小的主要障碍。热失效的主要原理是材料内部由于热膨胀系数不匹配而产生热应力，因此使用高热膨胀系数的材料可以解决这一问题。

目前常用于LTCC的高热膨胀系数材料是硼硅系玻璃陶瓷。……