薛炳修，庞岩涛，赵俊卿，李鲁艳，张宝金，崔光

（山东建筑大学理学院，山东济南250101）

有序锥形孔氧化铝模板的制备及其表征分析

薛炳修，庞岩涛*，赵俊卿，李鲁艳，张宝金，崔光

（山东建筑大学理学院，山东济南250101）

阳极氧化铝（AAO）模板具有高度有序的纳米孔阵列，在制备一维纳米材料方面有广泛的应用，阳极氧化铝模板法是制备纳米线及纳米管的重要方法。文章基于二次阳极氧化的方法实验制备了柱面氧化铝模板，围绕氧化铝模板纳米孔径的大小和有序性，利用扫描电子显微镜（SEM）对所形成纳米孔的形貌特征进行观测，并与平面阳极氧化铝模板的纳米孔进行比较，分析了氧化铝模板表面纳米孔的生长情况及其形成机理。结果表明：高度有序的锥形纳米孔阵列会沿着柱面直径辐射生长；纳米孔没有出现弯曲和分叉现象，柱面AAO模板内外表面纳米孔径大小分别为40和55 nm；纳米孔径变化率为0.5 nm／μm，膜厚约为30μm，通过调整柱面铝片的曲率半径和阳极氧化时间，可以控制锥形纳米孔径大小范围在60～120 nm之间。

氧化铝模板；有序锥形孔；一维纳米材料

0 引言

平面形阳极氧化铝（AAO）模板已经被广泛应用于制备一维纳米材料［1－2］。典型制备平面形多孔AAO模板的方法是将铝片置于硫酸、草酸或磷酸的溶液中进行阳极氧化［3－5］。由于AAO模板具有高度有序的纳米孔阵列，且结构稳定、方法简单，AAO模板法是制备纳米线及纳米管的重要方法。平面AAO作为模板已经被广泛的应用在纳米线［6］、纳米电缆［7］和纳米管［8］的制备中，同时也可以被用做其他纳米结构的掩膜，例如纳米点或纳米柱结构。……