李运涛， 牛俊丽， 许淑嫱， 刘存海

(陕西科技大学 化学与化工学院， 陕西 西安 710021)



高铝玻璃减薄优化工艺研究

李运涛， 牛俊丽， 许淑嫱， 刘存海

(陕西科技大学 化学与化工学院， 陕西 西安 710021)

以化学蚀刻薄化技术为基础，对高铝玻璃进行减薄优化研究.主要讨论最佳减薄溶液下，不同温度，不同减薄溶液的pH值，不同时间对玻璃减薄速率的影响.对减薄后的玻璃基板表面通过SME、EDX检测品质分析.在光刻胶和边框的保护下，配制出最优减薄溶液，选择的工艺条件为pH=2，温度55 ℃，减薄时间45 min.结果表明：在最佳条件下，玻璃基板减薄速率明显提高，表面的粗糙度得到有效的降低，并减少了表面白色附着物的沉淀.这为平板玻璃、显示屏等行业的制造，提供了一条可行性方案.

高铝玻璃； 玻璃减薄； 减薄液； 品质分析

0 引言

高铝玻璃本身强度高，耐磨性能好，广泛应用于显示器件中.随着科技的发展，显示行业的竞争愈来愈激烈[1].竞争的焦点集中在：(1)高分辨率；(2)超薄及高亮度设计；(3)低功耗.而高铝玻璃作为平板显示玻璃的减薄[2-9]技术仍尚未得到很好地解决.

目前，玻璃减薄技术主要有物理方法(如：研磨抛光)和化学方法，而在实际生产中化学方法应用更为广泛，尤其是湿法减薄玻璃技术[10-12].在湿法减薄玻璃技术中，酸蚀刻技术是最为常用的方法，如5%～30% HF、1%～5% H2SO4，3%～10% HCl以及5%～20% NH4HF2[7]，其主要原理为：含氢氟酸的混合酸与玻璃中的SiO2以及其他金属氧化物反应[13,14]，使玻璃表面脱掉一层皮，进而达到玻璃减薄及其表……