谭 同，何慧敏，李宝霞，薛海韵，周云燕，曹立强

（1.中国科学院微电子研究所 北京 100029；2.华进半导体封装先导技术研发中心有限公司，江苏 无锡214135；3.中国科学院大学 北京 100049）

光电模块中微弱电流测量电路的设计与测试

谭 同1，2，3，何慧敏1，2，3，李宝霞1，2，薛海韵1，2，周云燕1，2，曹立强1，2

（1.中国科学院微电子研究所 北京 100029；2.华进半导体封装先导技术研发中心有限公司，江苏 无锡214135；3.中国科学院大学 北京 100049）

为了实现对集成光路中各通道上的光强进行实时监测，测量nA级微弱电流，提出了两种基于运算放大器的微弱电流测量电路，并完成PCB板制作和电路测量。采用了将微弱电流转换成电压进而放大电压信号的方法，通过实际测试，两种电路达到了0.09 nA/0.2 nA分辨能力，80 nA/120 nA测量范围，实现了光电模块中微弱电流测量需求；同时分析了电路的温度稳定性、占用PCB板的面积、功耗，为不同应用场景下光电模块中微弱电流测量电路的选择提供依据。

光电模块；nA；运算放大器；微弱电流；温度稳定性

随着硅基光子集成技术的发展，需要在不影响光子芯片正常工作的情况下，对集成光路中各通道上的光强进行实时监测，来有效的调整光子集成系统的工作状态以达到最优系统性能[1-2]。各种可在硅衬底上单片集成的新型监测光探测器（MPD）成为光电器件领域研究的热点，但不论这些MPD是基于何种吸收机制（表面态吸收、双光子吸收、锗吸收以及杂质能级缺陷态吸收）[3]，他们的共同特点是低速直流工作，微量信号检测。……