王俣楠

[摘 要]在微机械、航空航天、生物工程、微电子工业中，精密三维的微小零件有着十分重要的作用。因此對超精密微机械制造技术进行研究大大促进了这些行业的发展，也对微精密机械制造技术的要求越来越高。本文首先阐述超精密微机械制造技术的含义，然后将当前最新技术的发展进行概述，最后对未来超精密微机械制造技术的发展趋势进行总结分析，对今后超精密微机械制造技术的发展提供一定的指导意义。

[关键词]超精密加工；微机械；微制造技术

中图分类号：U461.12 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2017）03-0306-01

超精密微小零件的特点在于其多样化的零件材料，特异化的结构形状以及高精度化的表面质量和尺寸规格。随着经济的不断发展，对超精密微小的零件在可靠性，材料、形态结构和使用功能方面的要求也越来越高。当前对超精密微小零件的加工主要有两种方法，一是运用常规机床进行微小零件的加工。但是这种方法有许多的缺点比如：材料浪费严重，场地占用大，加工成本高，能源消耗大，灵活性差，效率低等。最重要的一点是运用常规机床进行加工，工艺非常复杂，有些尺寸非常微小，形态特异的零件没有办法加工。另一种方法就是利用半导体制造技术和光刻技术等微小零件制造的技术，但是这种加工只能使用单一的材料并且设备极其昂贵。因此超精密微机械制造技术发展的一项重要内容就是制造设备的微小化。……