张 琦，李得天，杨长青，成永军，赵 澜，吉 康，孙 健

（兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州 730000）

限流元件流导测量技术研究进展

张 琦，李得天，杨长青，成永军，赵 澜，吉 康，孙 健

（兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州 730000）

在真空技术应用中，限流元件流导主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室动态标准压力及真空漏孔的校准。目前测量限流元件流导的方法主要有恒压法、定容法、流量比较法、线性规法、升压法。文章介绍了国内外测量限流元件流导的常用方法，列举了各种测量方法的适用范围和限制因素，并对比不同测量方法的特点。

计量学；气体微流量计；限流元件流导；测量方法

0 引言

在真空技术应用中，限流元件主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室的标准动态真空度及真空漏孔的校准。近年来，随着真空应用对真空计量不断增长的需要和越来越高的要求，使真空计量的研究领域不断扩大、参数不断扩充、量程不断拓展、不确定度不断减小，限流元件流导测量的准确性将直接关系到真空计量结果的准确性。

限流元件流导的大小不仅取决于限流元件的大小、形状、厚度等几何尺寸，而且还取决于通过限流元件的气体成分与气体的流动状态。在分子流条件下，对于确定的气体来说，限流元件流导值是恒定的；当进气压力偏离分子流时，限流元件的流导就随进气压力的不同而不同。……