唐 顺,王海星,谭秋林*,宋瑞佳,伍国柱,熊继军(1.电子测试技术国防科技重点实验室,太原 030051;2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051)



基于LTCC的无线无源双参数传感器*

唐 顺1,2,王海星1,2,谭秋林1,2*,宋瑞佳1,2,伍国柱1,2,熊继军1,2
(1.电子测试技术国防科技重点实验室,太原 030051;2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051)

设计了一个基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术的无线无源双参数传感器,传感器基于LC(inductor-Capacitor)谐振原理,询问天线通过无线遥测的方式获取传感器的压力和温度信号。在传感器基板上集成了两个LC谐振回路,谐振回路中两个电容分别对压力和温度参数敏感,同时两电感采用特殊结构来减少双参数在测试时的互感串扰。搭建了温度-压力复合测试平台,对传感器进行了相关测试。传感器最高测试温度为300 ℃,温度灵敏度为-14.27 kHz/℃,压力灵敏-13.75 kHz/kPa,实验结果表明,这种设计能明显减少两参数之间的互感影响。

无线无源;双参数;LC传感器;LTCC;互感串扰

在许多特殊环境中传统有线测量方式无法满足测试要求,如高温恶劣环境、轮胎和密封包装等密闭环境。而很多情况下需要获得这些环境下的温度、压力、加速度等参数来确保系统的正常运行[1-2]。无线无源LC传感器能通过无线耦合的方式获得传感器信息,减少了高温部分传感器与电路之间的连接,增加了传感器的稳定性,使得恶劣环境下的压力、温度等参数的测量成为可能[3-4]。同时,LC以无线的方式进行测量,避免了破坏产品的密闭性[5]。……