吕 辉,郅富标(1.河南理工大学电气工程与自动化学院,河南 焦作 5000;2.河南理工大学控制工程省重点学科开放实验室,河南 焦作 5000;3.西北工业大学电子信息学院,西安 710129;.河南工业和信息化职业学院电气工程系,河南 焦作 5000)



微型磁通门的优化分析与性能测试*

吕 辉1,2,3*,郅富标4
(1.河南理工大学电气工程与自动化学院,河南 焦作 454000;2.河南理工大学控制工程省重点学科开放实验室,河南 焦作 454000;3.西北工业大学电子信息学院,西安 710129;4.河南工业和信息化职业学院电气工程系,河南 焦作 454000)

对铁芯结构的改进有利于满足微型磁通门传感器降低功耗的要求,但不同的拓扑结构所取得的效果不同,为此对铁芯结构进行了优化分析,并采用MEMS工艺制备了不同铁芯结构的微型磁通门进行性能测试与对比验证。测试结果表明,优化后的多孔铁芯结构能更好的降低微型磁通门传感器的功耗与噪声,提高灵敏度,改善器件的整体性能。

多孔铁芯;微型磁通门;优化分析;性能测试

磁通门传感器作为一种综合性能良好的磁测量器件[1],在地磁研究、空间磁场探测、航空航天、微型卫星、微型无人机等领域有着广泛应用。MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)技术的不断发展,催生出一大批微型器件,其中微型磁通门具有尺寸小,易集成的优点,率先得到广泛应用。然而微型磁通门虽然尺寸明显缩减,但受工作条件所限,功耗并未得到同步有效降低,反而因面积缩小,系统热量更为集中,造成的散热问题严重影响了系统的稳定。……