杨英花,余 隽,吴 昊,李中洲,唐祯安(大连理工大学电子科学与技术学院,集成电路技术辽宁省重点实验室,辽宁 大连 116024)



氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究*

杨英花,余 隽*,吴 昊,李中洲,唐祯安
(大连理工大学电子科学与技术学院,集成电路技术辽宁省重点实验室,辽宁 大连 116024)

喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO2多孔薄膜。根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电镜对薄膜结构进行微观表征,敏感薄膜表面平整,成膜均匀;最后对其进行气敏测试,当微热板工作在250 ℃时,打印的SnO2气敏薄膜对乙醇有良好的响应,检测到最低乙醇浓度为0.5×10-6,响应和恢复时间均在3 s左右。

喷墨打印;气体传感器;微热板;气敏薄膜

微热板式气体传感器(MHP)具有尺寸小、低功耗、热响应迅速等优点,被广泛应用于气体检测[1]、气压检测、红外探测等微型器件中。随着纳米技术的飞速发展,各种纳米气敏材料层出不穷,如纳米颗粒、纳米线、纳米棒、纳米花、纳米带等具有较高的比表面积,这将大大增加气体与敏感材料表面的接触面积,提高气体传感器的灵敏度,因而吸引了科研工作者的广泛研究。

将纳米气敏材料淀积在尺寸仅一百微米悬空结构的微热板上,并经过后续工艺使之实现预定的气敏性能,是当今微热板式气体传感器需要解决的关键技术问题之一[2]。……