李 彤，张美玲，王 菲*，张大明，汪国平

(1. 深圳大学 电子科学与技术学院，广东省微纳光机电工程技术重点实验室，光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室，广东 深圳 518060；2. 吉林大学 电子科学与工程学院，集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室，吉林 长春 130012)

键合型掺铒纳米晶-聚合物波导放大器的制备

李 彤1，张美玲2，王 菲2*，张大明2，汪国平1

(1. 深圳大学 电子科学与技术学院，广东省微纳光机电工程技术重点实验室，光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室，广东 深圳 518060；2. 吉林大学 电子科学与工程学院，集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室，吉林 长春 130012)

为了克服主客掺杂型有源材料均匀性和稳定性差的问题，采用键合掺杂方法，将高温热解法制备的油酸修饰掺铒氟钇钠纳米晶粒与甲基丙烯酸甲酯发生共聚反应，形成键合型有源芯层材料。纳米晶粒均匀固定在聚合物分子链上，抑制了高浓度掺杂时的团聚析出且材料更稳定。纳米粒子在聚合物中的质量百分比达到约1wt%，具有良好的成膜性，用原子力显微镜照片观察薄膜表面粗糙度为1.76 nm。用椭偏仪测量薄膜光学性质，并用柯西色散模型拟合出薄膜折射率随波长的变化关系，材料在1 550 nm信号光波长的折射率为1.485。设计嵌入式波导结构，采用有限元方法进行模式分析和计算光场强度分布。……