肖寒伟，任 敏，张思禹，王 潇，姜 达，商 艳，沈龙海

磁控溅射法沉积TiO2薄膜及其防雾性能研究

肖寒伟，任 敏，张思禹，王 潇，姜 达，商 艳，沈龙海

(沈阳理工大学 材料科学与工程学院，沈阳 110159)

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备TiO2薄膜。应用XRD物相分析法测定薄膜的组成，通过有色液滴扩散法及水滴凝结速率和温度差的方法检测薄膜的亲水性能及防雾性能。研究结果表明:镀膜有效地阻止了液滴的扩散，促进了水雾的消散，能起到较好地防雾作用。

TiO2薄膜；磁控溅射；亲水性；防雾

二氧化钛有三种晶体结构[1-2]，分别是锐钛矿相、板钛矿相和金红石相。这些结构的共同特点是组成结构的基本单位是TiO6八面体[3]。二氧化钛具有独特的光学、电学等物理性能及优良的化学稳定性，被广泛应用于光学器件、环境保护等科学技术领域。同时它还具有特殊的超亲水性[4]，因此具有防雾和自动清理功能。运用二氧化钛纳米薄膜技术的外墙玻璃、浴室梳妆镜等装饰物品，处于潮湿环境时不会在表面凝结成不连续水滴，而会快速分散成水膜，这样不会产生光散射形成的雾，并使膜保持一定的通透性。

目前，制备纳米TiO2的方法很多，基本上可归纳为物理法和化学法。物理法包括机械粉碎法，对粉碎设备要求很高，及气象沉积法即溅射法；化学法又可分为气相法(CVD)、液相法和固相法等。本文采用物理气象沉积法中的磁控溅射法制备二氧化钛薄膜。磁控溅射法具有镀膜面积大，易于控制和附着力强的特点。……