周航

（长春理工大学，吉林长春 130000）

单晶锗各向异性力学性能实验

周航

（长春理工大学，吉林长春 130000）

单晶锗作为一种重要的半导体材料，在我国机电系统发展以及电路系统的优化升级中扮演着关键性的角色。为了充分发挥单晶锗在推动半导体产业发展，满足社会经济发展需求方面的作用，需要相关科技工作者对单晶锗（100）（110）（111）的各向异性力学性能进行全面的试验探究，对其实用性与加工性进行分析，促进单晶锗在实践中的有序使用。基于此，以纳米压痕实验为主要试验手段，对单晶锗（100）（110）（111）在试验过程中所表现出来的硬度及弹性模量等进行记录，以期为其力学性在实践中的应用提供理论参考。

单晶锗；各向异性；纳米压痕实验；力学性能

随着科技的不断进步，人们对材料的研发与应用能力不断增强，新的材料不断涌现，并被应用于实际生产与生活中。锗作为IV族金属，呈现出金刚石的结构特性，具有良好的物理与化学性征。单晶锗作为一种重要的工业原料，凭借着自身的材料优势，在汽车制造、航天领域、计算机通讯、医疗卫生及生态环境保护等诸多领域发挥着积极作用，与传统的半导体材料相比，有着更为广阔的应用前景与发展空间。随着计算机领域中芯片与晶体管的微型化，传统意义上的硅基材料越来越难以满足微型化的发展需求，试验证明单晶锗的物理化学性质能够在很大程度上取代单晶硅的作用，进一步推进晶体管技术的发展，提升摩尔定律的实践性能［1］。……