宋艳彤

天津中环半导体股份有限公司

半导体硅片的品质工艺与产品质量

宋艳彤

天津中环半导体股份有限公司

半导体技术是一个国家科研、生产能力的集中代表，是未来社会与建设自动化和智能化的基础型技术。由于国家政策上和经济上的大力支持，一段期间内国内成立了大量的半导体材料生产企业，但随着市场的逐渐饱和，半导体材料产品逐渐出现过剩，企业间的竞争变得空前的激烈，不少企业的生存遇到了困难，因此进一步加强对其的研究非常有必要。在发展过程中要把握当前半导体技术的核心和关键，在重点技术环节取得关键性突破，这样，才能将半导体技术更好地推向新的水平，进而适应科学、制造、生产的趋势需要。

半导体硅片；品质工艺；产品质量

1 半导体技术的发展历程

半导体技术起源于1948年萧克立、巴定、布莱坦发明的双极晶体管，这标志着半导体制造技术的开端，也是人类电子时代到来的标志。1961年，贝尔实验室发明了硒晶管和锗晶管，这代表着半导体制造技术进入了成熟阶段。由于晶体管具有可集成的特性，在平面加工工艺应用的基础上，半导体实现了量产化。进入到20世纪70年代，砷化镓作为新一代半导体制造的新材料取代了第一代半导体材料，半导体产品在工业、军事、通信方面，实现了大范围应用。特别是砷化镓在频率、噪音、功率、性能上的优势，使半导体制造的产品得到了广泛地认可。半导体制造技术已经成为工业生产的基础性技术。……