李 冲，许立忠，高立超，贺晓东

(燕山大学，秦皇岛 066004)



压电微传动电机发展综述

李 冲，许立忠，高立超，贺晓东

(燕山大学，秦皇岛 066004)

介绍了压电微电机的特点及在尖端技术领域的应用前景，根据定转子间的接触形式给出了压电微传动电机的分类，详述了各类压电微电机国内外的研究现状。针对各类压电微电机的优缺点，分析了各类压电微电机的应用范围。以一类电磁式非接触压电电机为例，指出了压电微电机的发展趋势及未来广泛的应用前景。

压电微电机；研究现状；发展趋势；应用领域

0 引 言

随着航空航天、精密加工技术的不断发展以及电子和控制技术向机械领域的不断渗透，跨学科、跨领域，集机械、电气与控制于一体的新型复合传动成为微型机械科学领域的国际性前沿课题[1]。其中利用压电陶瓷材料作驱动的各类微型传动电机因具有控制方便、频率响应快、位移分辨率高、无噪声、无电磁干扰、低电压驱动及易于微型化的优点成为研究的热点[2-4]。

压电电机利用压电材料的逆压电效应，将电能转化为机械能。目前，各种不同类型的压电电机已成功应用于精密定位平台、微型机器人、月球探测器等尖端技术领域。根据定转子间的接触类型，可将压电微传动电机分为三类，即摩擦式压电微电机、非接触式压电微电机和点接触式压电微电机。本文在总结压电微电机研究现状及分类的基础上，给出未来压电微电机的发展方向，为压电电机的广泛应用提供一定借鉴。……