罗廷礼

(河北省激光研究所，河北 石家庄 050081)



金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素

罗廷礼

(河北省激光研究所，河北 石家庄 050081)

为了表征金刚石膜性能的稳定性,本文给出了六十项性状指标和百项相关成膜因素、因果值A、制膜效果作为比较平台。发现沉积腔中气流有喘息、电弧转速有进动。磨耗比E值随测量过程而变。影响膜质的温度有22种。该平台为比较金刚石膜的稳定性找到了依据，不仅方便了技术交流、推动了膜品相的提高和制备技术的进步、还为标准的建立提供了方便和技术储备。

化学气相沉积； 金刚石膜； 性状指标； 成膜因素

0 前言

金刚石有许多宝贵的性质[1]。作为新型功能材料有着广阔的应用前景[2-5],并已取得可喜的应用效果[6-9],而且有相应的国标和行标对产品给出相应的质量要求[1]。人造金刚石是重要的新型功能材料。金刚石膜是这种材料中的主要成员。化学气相沉积(CVD)方法制备的金刚石膜集力学、电学、光学、热学等优异特性于一身，在高新科技领域，特别是高温、高频、大功率电子器件，红外窗口材料[10-12]和新型超硬涂层刀具等方面有着极为广阔的应用前景。它的这些优异特性将会成为新一代半导体芯片材料，使超大规模和超高速集成电路的发展进入一个崭新的时代。国内金刚石膜制备技术的产业化研究不足十五年，不仅无国标、行标，简单的企标也不多[13-16]，介于商业利益的考虑，人们也很少将其公开[17]。

直流电弧等离子体喷射法(DC arc plasma jet method, 以下简记为DC-PJCVD)国内制膜技术发展史仅二十来年[5],还不够成熟。……