马娜娜，付西红，段战军，周美英，李　硕

(中国科学院 西安光学精密机械研究所，陕西 西安 710119)



精密测角仪的误差溯源及其补偿方法研究

马娜娜，付西红，段战军，周美英，李硕

(中国科学院 西安光学精密机械研究所，陕西 西安 710119)

为了简化精密测角仪的误差分析及数据处理过程，根据精密测角仪的结构组成及测量原理，对精密测角仪的误差进行溯源，并分析了各种误差源对测量精度的影响；根据精密测角仪的角度测量机理提出了一种基于被测面自准直像位置的误差补偿方法；采用精密测角仪进行被测面自准直像在不同位置时的角度测量实验，根据测量实验数据给出了误差补偿线性方程.实验结果表明：应用此误差补偿方法可有效缩减前期测量准备调整过程，使精密测角仪的应用更加便捷，简化了精密测角仪的误差分析及数据处理过程，为实现全自动精密测量提供基础.

精密测角仪；测量精度；误差溯源；补偿方程

精密测角仪是一种光学元件重要参数的测量检测仪器.早期测角仪多由自准直仪、旋转平台等部分组成.国内外的学者也从测量的方法[1-3]、测量误差的分析[4-7]、仪器应用领域[3,6]等多方面进行了广泛深入的研究，取得了较好的成果.近些年来，随着CCD成像技术的广泛应用，新式测角仪采用CCD采集成像技术代替了人眼观察，使测量更加便捷，精度得到了进一步的提高.而新式测角仪在使用过程中依然需要对光学元件平面……