祝福生，郭春华，夏楠君

（中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601）

工业泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用

祝福生，郭春华，夏楠君

（中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601）

介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用。

泵；湿法腐蚀清洗；自动供液系统

湿法腐蚀清洗设备是集成电路、LED、太阳能、MEMS等芯片制造中必不可少的工艺设备之一，泵作为其常用的关键部件有着广泛的应用。泵是输送液体或使液体增压的通用机械，湿法腐蚀清洗设备中泵主要用来输送水、酸、碱、有机等化学药液。

随着芯片制造特征尺寸的缩小，工艺水平的不断提高，对晶片腐蚀的均匀性，晶片表面颗粒及金属污染等洁净度指标提出了更高的要求，为之，湿法腐蚀清洗设备在采取其它措施（如晶片旋转、抖动、超声清洗、兆声清洗等）的同时，业内普遍采用以泵为动力源的工艺槽循环过滤方式，用以净化槽内药液、均匀流场保证药液浓度和温度的均匀性，这也是泵的最典型应用；泵的另一应用是用于化学药液的自动供给及废液的输送。

湿法腐蚀清洗设备使用的化学药液很多，有酸性腐蚀剂，碱性腐蚀剂以及有机腐蚀剂等，这些化学药液通常具有较强的腐蚀性，特别是有机药液还具有易燃、易爆特性，同时它们的使用温度也不尽相同，有常温也有高温，依据不同使用要求，选择相适应的泵的类型，是保证设备稳定运行的重要因素。……