杨超，刘丹，郑佳晶，杨帆

（北京中电科电子装备有限公司，北京100176）

自动分选设备系统软件设计

杨超，刘丹，郑佳晶，杨帆

（北京中电科电子装备有限公司，北京100176）

介绍了自动分选设备的系统软件及控制时序的设计方案，通过分析系统硬件机构，设计系统软件结构，根据设备运行特点，设计控制时序，成功完成了系统软件设计，测试证明设备运行精度高、速度快，运行可靠稳定。

自动分选排片设备；控制软件；运行时序

自动分选机的功能是将一张晶圆上具有不同特性的芯片从蓝膜（或UV膜）上分别挑选出来放入到不同的Tray盒中，从而方便下道工序的使用。通常，自动分选机的来料为通过探针测试台测试过的晶圆，这些经过测试的晶圆芯片或是被打上墨点或是带有MAP文件。传统的挑选方法是经过解胶后由人工挑选，这种方法虽然可靠但效率极低且只能处理表面特征有差异的芯片，对表面特征相同但在电极性或其他不同特性的芯片则无法处理，为了解决以上问题自动分选排片机也就应运而生。

1　需求分析

1.1整机结构

自动分选机可分为运动部件，机器视觉，人机交互三部分。其中，运动部件由旋转臂及顶针机构、晶片台机构和工作台机构组成；机器视觉部分由相机、镜头和光源组成；人机交互由工控机、显示器、鼠标和键盘组成。

旋转臂及顶针机构由三个电机组成，晶片台机构由三个电机组成，工作台机构由2个或4个电机组成。其中，旋转臂及顶针机构、晶片台机构和工作台1由一张8轴运动控制卡控制，工作台2作为可选项由一张4轴运动控制卡控制。……