王庚林，李宁博，董立军，李　飞，刘永敏

(北京市科通电子继电器总厂有限公司，北京　100041)



工程与应用

积累氦质谱组合检测中防止漏检的方法

王庚林，李宁博，董立军，李飞，刘永敏

(北京市科通电子继电器总厂有限公司，北京100041)

作者在积累氦质谱组合检测中发现存在粗漏漏检现象，美国宇航局2013年2014年的研究报告揭示，各种组合检测复测中均存在粗漏细漏漏检现象。文章对积累氦质谱组合检测和氩粗漏氦细漏组合检测的粗漏检测，提出了确定最长粗漏检测时间的方法；对这两种组合检测和氦质谱检测的细漏检测，综合给出了定量确定和拓展细漏检测最长候检时间的方法，论证了压氦压力不应小于2倍的大气压力，提出了确定预充氦法和预充氦氩法最小候检时间的方法，提出了确定最长细漏检测时间的方法，从而可减少和防止粗漏和细漏漏检；并通过对美国宇航局报告中实例的分析，验证了以上方法的有效性。同时指出漏孔堵塞是造成漏检的原因之一，但不是形成微型元器件高比率漏检的主要原因。

密封性检测;积累氦质谱;粗漏检测;细漏检测;漏检;漏孔堵塞

0　引　言

为了满足高可靠装备长期贮存和工作的应用需求，为了实现密封元器件更加严密的密封性检测，自二十一世纪初开始，国际上相继出现了积累氦质谱组合检漏仪(CHLD)，氪85组合检漏仪(Kr85)和光干涉组合检漏仪(OLT)。

文献[1]已介绍，自2012年以来，作者同Inficon公司、中国电子四院、中国电科43所合作，先后在德国和中国，采用Pernicka 700H型CHLD进行过8个批次的测试试验。……