杨爱静

（国家电投集团西安太阳能电力有限公司，陕西 西安 710100）

洗磷刻蚀滚轮技术升级研究报告

杨爱静

（国家电投集团西安太阳能电力有限公司，陕西 西安 710100）

本文通过酸腐蚀织构法进行背面湿法刻蚀。在湿法刻蚀工序中，通过优化和改进了刻蚀滚轮表面结构，达到了减少酸消耗量，节约经济成本，减少废水排放的目的。

背面湿法刻蚀；刻蚀滚轮；酸消耗

0 引言

激烈的市场竞争下降低生产成本是提高生存竞争力的主要途径。在湿法刻蚀工序中，酸的消耗占工艺运行成本的大部分。为节约成本，考虑到对刻蚀设备中的滚轮结构进行优化以达到显著降低化学品消耗的目的，从而有效的降低生产成本。

1　实验部分

1.1新式滚轮（图2）和常规滚轮（图1）构造对比

图1　常规滚轮表面形貌示意图

图2　新式滚轮表面形貌示意图

1.2技术改造原理

我们将更换湿法刻蚀机台刻蚀模组原有常规刻蚀滚轮，使用新式刻蚀滚轮。新式刻蚀滚轮可提高刻蚀效率并改善刻蚀均匀性，在保证工艺效果的情况下减少酸的消耗量。

本实验使用的刻蚀机台工作原理：刻蚀滚轮将酸液带到硅片底部，实现对硅片背面及边缘的刻蚀，如图3。

图3　 刻蚀机台原理图

改进后的新式滚轮的表面结构不同于常规滚轮，新式滚轮的带酸液效果更好，滚轮与硅片接触面积增大，相邻凸起之间的反应活性增大。在酸液浓度相同的情况下，新式滚轮令硅片与酸液反应更加强烈。当使用新式滚轮时，我们降低酸的浓度也不会影响工艺效果，进而达到降低酸耗的目的。……