董　鹏，边旭明，赵宏忠，林树超，邓　娟，黄晓杰，彭文武

（北京航天微电科技有限公司，北京100854）

高空湿度探测用加热式湿度传感器的研制*

董鹏*，边旭明，赵宏忠，林树超，邓娟，黄晓杰，彭文武

（北京航天微电科技有限公司，北京100854）

为实现高空高湿环境下对湿度的准确测量，本文设计和研究了集成加热功能的湿度传感器，在探空仪进行高空湿度探过程中利用两只加热式湿度传感器进行轮流加热除湿和湿度测量。通过对聚酰亚胺湿敏材料进行改性和合成，设计和制作了加热式的电容型湿度传感器，其灵敏度为0.219 5 pF/%RH、响应时间小于1 s、湿滞为4.8%RH、半年漂移量在±0.3%RH以内。通过分析不同温度下的加热恢复时间，制定了加热式湿度传感器轮流工作的机制，轮流加热时间和周期分别为2 s和120 s。并利用数据采集电路以及GPS探空仪对加热式湿度传感器进行了地面静态性能和高空动态性能测试，其高空湿度探测结果与VA SALA RS92的显示出较好的一致性和较低的湿度误差。本文研制的加热式湿度传感器能具有良好的地面性能，实现了交替加热除湿和湿度测量的功能，具有高空湿度探测的应用潜力。

湿度传感器；高空湿度探测；加热式；湿敏电容

EEACC:7230doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2016.07.009

高空湿度探测是高空气象观测的基本测量值之一，为各种类型的天气预报以及环境监测提供最基本的大气湿度信息。高空湿度的测量一直是气象观测的一个难点，严重的影响着气象观测技术的发展。湿度传感器是探空仪测量高空湿度的关键部分，也是我国气象观测中的瓶颈技术之一。……