王艳阳，石云波*，王　华，康　强，杨志才

（1.中北大学电子测试技术国防科技重点实验室，太原030051；2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051；3.中北大学仪器与电子学院，太原030051）

高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析*

王艳阳1，2，3，石云波1，2，3*，王华1，2，3，康强1，2，3，杨志才1，2，3

（1.中北大学电子测试技术国防科技重点实验室，太原030051；2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051；3.中北大学仪器与电子学院，太原030051）

总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究，得到实验设备的不确定度为1.7%，并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定，得到了传感器的参考灵敏度。

MEMS；高量程；差动式激光干涉仪；高g值加速度计；不确定度；误差分析

EEACC:7230doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2016.07.004

随着硅微机械加工技术的不断发展应用，高量程（高g值）加速度传感器已成为应用于航空航天［1］、炮弹引信［2］、军事武器特性测试等特殊环境的重要工具［3］。这些环境需要进行大量的振动与冲击过程测试，测试环境比较恶劣。所以高量程传感器成为在冲击或者振动过程中运动参数测量的重要工具，特别是弹体侵彻过程中加速度的测试［4］。大量程加速度目前传感器的测试范围可以在几百gn到上万gn，甚至高达几十万gn。由于加速度传感器耐冲击、抗过载能力强、响应快、稳定性高的特点，在这些领域的广泛使用，使得加速度传感器的校准显得尤为重要。……