岱　钦，史瑞新，崔建丰，李　漫，李业秋，乌日娜，姚　俊

(1.沈阳理工大学 理学院，辽宁 沈阳　110159；2.吉林大学 口腔医学院，吉林 长春　130021；3.鞍山紫玉激光科技有限公司，辽宁 鞍山　114000)



脉冲LD泵浦电光调Q深紫外激光器

岱钦1*，史瑞新2，崔建丰3，李漫1，李业秋1，乌日娜1，姚俊1

(1.沈阳理工大学 理学院，辽宁 沈阳110159；2.吉林大学 口腔医学院，吉林 长春130021；3.鞍山紫玉激光科技有限公司，辽宁 鞍山114000)

研制了千赫兹213 nm深紫外全固态激光器。激光器采用脉冲LD侧面泵浦方式和电光调Q技术，实现了10瓦级基频光的稳定输出。利用多次倍频技术，实现了稳定的213 nm深紫外激光输出。当LD泵浦电流为80 A时，213 nm激光输出的最大平均功率达到了151 mW，激光器重复频率为1 kHz，激光脉冲宽度为10 ns，功率不稳定度为3%。同时，对激光在非线性晶体中的偏振匹配和不同重复频率条件下的激光器运转特性进行了分析。

深紫外；LD脉冲泵浦；全固态激光器

*Corresponding Author,E-mail:daiqin2003@126.com

1　引　　言

深紫外激光以其波长短、光子能量高、可聚焦能力强等优点，在精密加工和光刻、高密度数据存储、激光医疗、环境监测、高端LIBS测量等领域都有重要的难以替代的应用[1-9]。通常的深紫外获得方法有两种：一是采用准分子激光器直接激发，二是通过多次倍频。前者通常使用类似KrF之类的有毒气体，有一定的潜在危险性，同时光束质量一般比较差，而且造价昂贵；后者多为低重复频率如10 Hz的大能量脉冲激光器变频，虽然效率和出光能量尚可，但由于频率太低，很多应用无法满足。深紫外全固态激光器与其他激光器相比具有诸多优点，利用深紫外非线性光学频率变换获得深紫外尤其是千赫兹量级重复频率的深紫外相干光源已成为当前一个研究热点[10]。……