陈 蕾，肖 梅，张晓兵，杨玲玲，吴晓斌，王魁波，罗 艳（.东南大学 电子科学与工程学院显示中心，南京 0096；.中国科学院光电研究院，北京 00000）

导线在真空环境中的放气特性分析

陈 蕾1，肖 梅1，张晓兵1，杨玲玲1，吴晓斌2，王魁波2，罗 艳2
（1.东南大学 电子科学与工程学院显示中心，南京 210096；2.中国科学院光电研究院，北京 100000）

材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率，利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小，并随着抽气不断减小，在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体，说明放出的气体成分含氟。

导线；材料放气率；小孔流导法；四极质谱法

0 引言

真空条件下材料会因解吸而放气，某些材料由于本身饱和蒸气压高，材料本身也会放出气体。材料放出的气体可能会吸附于器件表面，使器件性能降低，还可能会污染真空系统。通过对真空系统中使用材料的放气特性的分析［2］，可以判定此材料是否适用于洁净真空系统中。

导线是工业设计中常用的材料，其绝缘层有聚全氟乙丙烯（FEP）和可溶性聚四氟乙烯（PFA）等几种材料。其中FEP和PFA以其优良的耐热性、耐腐蚀性、电绝缘性、不粘性和润滑性等特点广泛应用于电缆、电子设备配线、电器绝缘材料等方面。……