黄哲观，张田田，邓朝勇

(贵州大学 大数据与信息工程学院，电子科学系，贵州省电子功能复合材料特色重点实验室，贵州 贵阳 550025)



钛酸锶钡薄膜的制备及其铁电性能研究

黄哲观，张田田，邓朝勇*

(贵州大学 大数据与信息工程学院，电子科学系，贵州省电子功能复合材料特色重点实验室，贵州 贵阳 550025)

本文采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)铁电薄膜，研究了在退火时间为450 s条件下，溶胶浓度、退火温度以及涂膜层数对薄膜的结晶结构和铁电性能的影响。利用X射线衍射分析仪(XRD)、铁电测试仪对BST薄膜的微观结构和电学性能进行了表征分析。结果表明：当溶胶浓度为0.4 mol/L，涂膜层数为4层，退火温度为650 ℃时，BST薄膜的矫顽场(EC)约为230 kV/cm，饱和极化值(PS)约为18 μC/cm2，剩余极化值(Pr)约为7.5 μC/cm2，表明薄膜具有良好的铁电性能。当电场强度为175 kV/cm时，BST薄膜达到饱和状态时而未被击穿，此时薄膜的电流密度J约为0.29 μA/cm2，表明所制备的薄膜质量较好。

溶胶凝胶法；退火温度；快速热处理(RTP)；铁电性能

随着现代社会信息技术的快速发展，微电子技术已广泛应用于各个领域，人们对电子技术的产品的依赖性也越来越强。社会的需求和技术的大发展促使微电子相关技术高速发展，而其中具有钙钛矿型(ABO3)结构的二元或多元金属氧化物的铁电功能材料的发展尤为突出[1]。铁电材料是一类具有铁电效应的功能材料，归属于热释电材料。铁电材料具有自发极化的特点，同时，其自发极化偶极矩在一定的温度范围内可以随着外界施加电场方向的改变而重新取向[2]。……