钟洪胜*，徐海清，赵国鹏，胡耀红，袁国伟

（广州鸿葳科技股份有限公司，广东 广州 510663）



【综述】

酸性氯化铜蚀刻液膜电解再生技术评述

钟洪胜*，徐海清，赵国鹏，胡耀红，袁国伟

（广州鸿葳科技股份有限公司，广东 广州 510663）

综述了酸性氯化铜蚀刻液膜电解再生技术的发展现状，分析了当前膜电解再生技术的优缺点，探讨了酸性蚀刻液膜电解再生系统的设计，指出了膜电解再生技术的发展趋势。

酸性氯化铜蚀刻液；膜电解；再生；离子交换

First-author's address: Guangzhou Honway Tech. Corp.， Guangzhou 510663， China

目前PCB企业应用最为广泛的酸性氯化铜蚀刻液［1］在蚀刻工序中使用后会产生大量的蚀刻废液，还产生有毒的废气，造成环境污染和铜资源的大量流失。随着我国《节能减排“十二五”规划》的颁发，环保政策进一步监督企业贯彻实施环境保护法和清洁生产促进法。PCB生产企业推行清洁生产，必然要对现有的生产设备进行改造，引进酸性蚀刻废液回用的新技术。目前应用最多的是在线电化学再生法［2］，可以实现蚀刻工作与蚀刻液再生在一个循环体系中连续运行，是一种环境友好型清洁生产工艺。目前电化学再生法多采用膜电解再生技术，其优点在于氧化反应和还原反应可以分别在各自的极室内进行，“彼此独立”，使阴、阳极同时产出产品成为可能［3］。本文就各种膜电解再生技术进行评述，讨论其优缺点，并指出酸性蚀刻液再生回用的发展方向。

1　酸性蚀刻液膜电解再生技术的发展状况

1. 1 阳离子交换膜电解法

1. 1. 1 方法I