李　坤，熊玉卿，王　超

（兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州　730000）

1 064 nm导模共振滤光片的设计与分析

李坤，熊玉卿，王超

（兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州730000）

为了获得峰值波长为1 064 nm的反射型窄带滤光片，采用导模共振原理进行设计，并利用严格耦合波法对滤光片的光谱特性进行了理论分析。首先设计了峰值波长1 064 nm单层反射型导模共振滤光片，由于覆盖层和基底层的折射率不匹配，使得远离峰值波长处的反射率偏高，引入减反射层后，峰值波长两侧的反射率明显降低；其次分析了光栅层厚度、光栅周期对滤光片光谱性能的影响。结果表明设计的滤光片具有反射率高、带宽窄及旁带反射率低等优良的光学性能。

光学薄膜；滤光片；导模共振；减反射层

0　引言

滤光片是光学系统中比较常用的一种元件，传统的制作方法是基于多层薄膜的干涉效应来实现，往往需要几十层甚至上百层膜层才可以达到效果，给制备工艺带来了一定的困难［1］。导模共振滤光片是基于导模共振效应来设计的，将光栅技术和传统的薄膜技术相互结合，自从1992年Magnusson首次提出这一概念以来［2］，由于其优良的光学特性及相对简单的结构，一直是国内外光学领域研究的热点之一［3-4］。所谓导模共振效应是指亚波长介质光栅在一定的结构参量和入射条件下出现的一种特殊衍射现象［5-6］。在物理机制上可认为是外部传播的衍射场与受调制波导的泄漏波之间的耦合，当由周期结构所产生的某一衍射波与波导所支持的某一泄漏模位相匹配时，会产生共振异常现象，通常表现为共振波长处有极高的衍射效率和极窄的带宽。……