代彦伟，肖　梅，张晓兵，吴晓斌，王魁波，罗　艳

（1.东南大学电子科学与工程学院，南京　210096；2.中国科学院光电研究院，北京　100000）

基于四极质谱仪O形氟橡胶圈的放气研究

代彦伟1，肖梅1，张晓兵1，吴晓斌2，王魁波2，罗艳2

（1.东南大学电子科学与工程学院，南京210096；2.中国科学院光电研究院，北京100000）

在真空系统中，接口之间的密封主要有金属与橡胶密封。橡胶属于弹性元件，是一种适应性很强的密封件，其广泛应用于真空系统中。实验研究了O形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响，在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统，对O形氟橡胶圈释放气体进行分析。实验发现O形氟橡胶圈释放大量的氧气等杂质气体，在痕量杂质分析系统上，不适合使用O形橡胶圈作为密封器件。

O形橡胶圈；痕量杂质气体；封闭式离子源；四极质谱仪

0　引言

密封按接触面间的相对运动状态可以分为静密封和动密封［1］。在真空系统中实现静态密封的途径有很多种，最常用到的密封件主要是金属密封、橡胶密封圈密封。金属密封属于强制性密封，通过CF法兰刀口与金属垫片之间的紧密咬合，从而达到密封的效果。金属密封的效果较好，可以实现He的泄漏率小于10-8cm3/s的水平。但是金属密封的缺点是拆卸不方便、金属垫圈使用次数有限、价格昂贵等。

在真空设备径向和轴向的静密封，以及速度和压力较小情况下的动密封中，橡胶密封圈作为密封材料的应用最为普遍。橡胶的特性使得橡胶圈一旦被压缩总是倾向于恢复初始的截面形状，从而产生对接触面的压紧力。……